产品介绍：

四轴精密度线轨运动台，满足高速、高加速、高精度的产品定制需求，适用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等先进制造行业。

产品特性：

X、Y、Z、工作台，直驱电机驱动可实现360°角度旋转，Z轴布置于平台大理石横梁，直线电机驱动垂向运动;配套平衡气缸支撑，防止断电掉落：

亚微米级重复定位精度；

速度1000mm/s，加速度1g；

单轴直线度可达士1.5um，运动平面度可达2.um；

X、Y两轴正交性可达2.0um；

直线电机驱动，光栅尺编码反馈

高精度直线导轨：高刚性基台配合进口高刚性直线导轨，可保证产品长期稳定的精度，同时专业的技术团队和检测设备可将直线导轨的性能发挥到完全。

本机构具备较高的定位精度，台体的物理形位公差做到了理想化范围，确保运动时的准确性。

模块化线缆管理：模块化的线缆管理大大提高系统的维护性和可靠性，方便用户管理线缆。