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三轴线轨高精密运动台

发布:武汉市夏睿琪科技有限公司 来源:http://www.whyunpeng.com/ 时间:2024-01-22

三轴线轨高精密运动台

产品介绍:

满足高速高精度产品的定制需求,适用于玻璃薄片检测、三维成像等

产品特性:

X、Y、Z工作台,Z轴布置于平台大理石横梁;可实现微米级的重复定位和定位精度;

XY使用交叉滚珠导轨,低摩擦,高刚性,可实现亚微米级重复定位精度;

最大速度200mm/s,最大加速度0.5g;

单轴直线度可达±2μm,运动平面度可达±3μm;

直线电机驱动,光栅尺编码反馈。

三轴线轨高精密运动台

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